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团簇式多功能高真空镀膜设备

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产品描述

真空：极限真空6*10 -5 帕
　　　工作真空6*10 -4 帕
　　　恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟
　　　不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟
本套设备为按客户要求定制的高真空团簇式多功能镀膜设备，配备有磁控溅射室，热蒸发室，清洗室及传递室。
各腔室可独立工作，传递室可将样品在各腔室内传递及送样品至手套箱
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源，控温精度±1℃
 
 

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