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离子减薄仪

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产品描述

在洁净的无油高真空环境下,通过倾斜于样品表面的冷阴极离子枪,发射能量大于样品材料结合能的Ar+流,对样品表面进行连续轰击,使样品表层原子在Ar+轰击下溅射,最终获得薄膜样品的刻蚀制样设备。
 
 
 

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