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高真空双室多功能镀膜设备

所属分类:

电子束及离子束镀膜设备


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产品描述

真空:极限真空6*10 -5 帕
   工作真空6*10 -4 帕
   恢复工作真空时间:连接手套箱≤10分钟
   不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟
配有4坩埚电子束镀膜设备一套
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源,控温精度±1℃
 
 
 

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