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产品描述
1. 溅射真空室组件1套,球型真空室尺寸Ф300mm，选用真空专用304#不锈钢材料制造氩弧焊接，表面进行喷玻璃丸处理。各法兰口按超高真空系统设计，采用金属密封。
2. 采用一套600L/S分子泵+4L/S机械泵通过CF150超高真空闸板阀进行主抽，通过CF35角阀旁抽。
3. 封接观察窗2个， Ф100石英玻璃窗口1个(248nm紫外波段，供激光入射用的)
4. 电磁隔断放气阀：（北京）KF40 1台。
5. 分子泵与机械泵连接金属波纹管 1套； 机械泵与真空室之间的旁抽金属波纹管管路及CF35角阀1套。
6. CF150闸板阀：用于分子泵与真空室隔离。
7. 真空测量及电控系统1套，ZDF数显复合超高真空计（全部采用金属规管）1台 。
8. 总控电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断电断水缺相保护功能1套。
9. 机架：优质方钢型材（40mm×40mm×3），焊接成，，四只脚轮，可固定，可移动。
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