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双室热蒸发镀膜设备

所属分类：

电阻式热蒸发设备

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产品描述

　　该设备由金属热蒸发沉积室和有机热蒸发沉积室组成，包含4个金属蒸发源8个有机蒸发源。金属室附加一个手套箱，可使蒸发材料在保护气体的环境下放入蒸发源，也可使蒸镀好的样品在此取出。
　　样品通过小车在两个真空室之间实现传递。
　　每次可对四块样品进行蒸镀，并可在线掩膜两次。
　　每个蒸发源有独立挡板，防止交叉污染。
 
 
 

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