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高真空有机金属热蒸发镀膜系统

所属分类：

电阻式热蒸发设备

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产品描述

主要技术参数：
1. 设备的极限真空度≤5×10-5Pa，恢复设备工作真空≤6×10-4Pa，小于40min（新设备充干燥氮气）
2. 设备总漏率：关机停泵12小时后，真空度≤10pa
3. 蒸发源与衬底间距180mm±60mm
 
 

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多功能蒸镀设备

真空热蒸发镀膜系统

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