产品中心
产品描述
设备技术指标：
1、金属真空室腔体:1套
1) 外形：304优质不锈钢D形前后开门（后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门）真空室腔体1套（真空室内部尺寸D350*480mm），后门配DN100视窗2套；
2) 底部：金属源接口2套，国产1200L/S风冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口2套；
3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套；
4) 左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。
2、有机真空室腔体:1套
1) 外形：304优质不锈钢D形前后开门（后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门）真空室腔体1套（真空室内部尺寸D350*480mm），后门配DN100视窗2套；
2) 底部：有机源接口2套，国产1200L/S风冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口2套；
3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套；
4) 左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。
3、金属/有机源系统：各1套
1) 金属蒸发源2套（金属室）：水冷铜电极2组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源2台（数字显示），电流调整精度0.1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；
2) 有机蒸发源2套（有机室）：4CC石英舟，温控电源2台（温控表显示精度0.1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板；
3) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。
3、样品台系统：2套
1) 基片旋转：转速0～30转／分连续可调；
2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；
3) 基片挂架：120×120 mm基片台，承载最多25片15×15mm基片（或可根据客户需求定做），附掩膜板；
4) 基片水冷：φ180mm水冷台，接入冷水机冷却；
5) 基片挡板：电动挡板。
4、真空泵机组：1套
1) 国产1200L/S风冷分子泵2台；
2) 8L/S直联旋片泵2台；
3) CF200高真空气动插板阀2台；
4) CF35高真空气动挡板阀2台；
5) KF16高真空气动挡板阀4台；
6) KF40高真空电磁截止阀2台；
7) KF40真空电磁充气阀2台；
8) KF40泵阀连接软管4套，KF40三通2套；
9) ZDF-5227数显真空计2台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。
5、膜厚检测系统：1套
1) 膜厚仪：采用美国infocon，SQM160四通道石英晶振膜厚监测仪1台；
2) 膜厚探头：美国进口水冷膜厚探头4套。
6、设备机架：1套
1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；
2) 3英寸万向轮4件，移动调整；
3) M16地脚4件，锁紧定位。
7、其他电控系统：1套（电气控制采用1.8米电控柜内置）
1) 金属源电源：2台（1带1）；
2) 有机源电源：2台（1带1）；
3) 蒸发源挡板电源：1台；
4) 样品台以及其挡板电源：1台；
5) 烘烤照明电源：2台；
6) PLC控制器（配10英寸触摸屏）：1台；
7) 总控制电源（含机械泵电源）：1台。
8、其他技术参数：
1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；
2) 供电：～220V两相供电系统（峰值5KW）；
3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；
4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；
5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。
上一页
下一页
上一页
下一页
