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产品描述
真空：极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟
配有3个金属蒸发源和3个有机蒸发源
配有3个膜厚探头，膜厚仪进口与国产可选
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