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产品描述
真空：极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源，控温精度±1℃
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