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该设备是单腔体高真空磁控设备直径Φ450×420mm，真空系统由600L/S分子泵、8L/S机械泵和相关阀门组成。配置4套带挡板的直径60mm可变换靶头角度的永磁靶和直径80mm可加热800℃，可调速自转并可改变轨迹公转的CF200样品台一套。另外为保证用户在线测量离子流密度等需求，配置可上下精确调控并可旋转的在线测量装置一套。四支永磁靶可上下移动，变换靶基距，调节范围距样品50mm-100mm。
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