双室高真空电阻式镀膜设备

设备技术指标一：

1、金属真空室腔体:1套

1. 外形：304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，真空室内部尺寸D400*450mm，前后门各配DN100视窗1套；
2. 底部：金属源接口3套，JTFB-600风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套；
3. 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；
4. 左侧：CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套。

2、金属源系统：1套

1. 金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，配气动挡板，1KW直流电源2台（数字显示），电流调整精度0.1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；
2. 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。

4、样品台系统：1套

1. 基片旋转：转速0～30转／分连续可调；
2. 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；
3. 基片挂架：130×130mm基片台，比如可安装15×15mm基片25片，可按照客户定制；
4. 基片挡板：电动挡板。

5、真空泵机组：1套

1. JTFB-600风冷复合分子泵1台；
2. VRD-30双级泵1台
3. CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台；
4. CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；
5. GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；
6. GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；
7. DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；
8. KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套；
9. ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。

6、膜厚检测系统：1套

1. 膜厚仪：美国infocon，SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套；
2. 膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头2套。

7、设备机架：1套

1. 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；
2. 3英寸万向轮4件，移动调整；
3. M16地脚4件，锁紧定位。

8、其他电控系统：1套（电气控制采用电控柜与设备机架内置）

1. 电控柜：1台；
2. 烘烤照明电源：1台；
3. 总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台；

9、其他技术参数：

1. 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；
2. 供电：～220V两相供电系统（峰值5KW）；
3. 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；
4. 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；
5. 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。

设备技术指标二：

1、有机真空室腔体:1套

5. 外形：304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，真空室内部尺寸D400*450mm，前后门各配DN100视窗1套；
6. 底部：有机源接口6套，JTFB-600风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套；
7. 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；
8. 左侧：CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套。

2、有机源系统：1套

3. 有机蒸发源6套：4CC石英舟，温控电源3台（温控表显示精度1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板；
4. 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。

4、样品台系统：1套

5. 基片旋转：转速0～30转／分连续可调；
6. 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；
7. 基片挂架：130×130mm基片台，比如可安装15×15mm基片25片，可按照客户定制；
8. 基片挡板：电动挡板。

5、真空泵机组：1套

10. JTFB-600风冷复合分子泵1台；
11. VRD-30双级泵1台
12. CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台；
13. CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；
14. GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；
15. GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；
16. DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；
17. KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套；
18. ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。

6、膜厚检测系统：1套

3. 膜厚仪：美国infocon，SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套；
4. 膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头2套。

7、设备机架：1套

4. 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；
5. 3英寸万向轮4件，移动调整；
6. M16地脚4件，锁紧定位。

8、其他电控系统：1套（电气控制采用电控柜与设备机架内置）

4. 电控柜：1台；
5. 烘烤照明电源：1台；
6. 总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台；

9、其他技术参数：

6. 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；
7. 供电：～220V两相供电系统（峰值5KW）；
8. 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；
9. 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；
10. 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。