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产品描述
设备技术指标：
1、真空室腔体:1套
- 外形：304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，真空室内部尺寸D400*480mm，前后门各配DN100视窗1套；
- 底部：金属源接口3套，有机源接口2套，JTFB-1200风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套；
- 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；
- 左侧：CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套。
2、金属/有机源系统：1套
- 金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源3台（数字显示），电流调整精度1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；
- 有机蒸发源2套：4CC石英舟，温控电源2台（温控温控表显示精度1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板；
- 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。
3、样品台系统：1套
- 基片旋转：转速0～30转／分连续可调；
- 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距240-340mm通过触摸屏连续可调；
- 基片挂架：130×130mm基片台，最大可安装100×100mm基片1片；
- 基片水冷：φ180水冷盘，接入冷水机冷却水；
- 基片挡板：电动挡板。
4、真空泵机组：1套
- JTFB-1200风冷复合分子泵1台；
- CCQ-200CF气动超高真空插板阀1台；
- CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；
- GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；
- GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；
- DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；
- KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套；
- ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。
5、膜厚检测系统：1套
- 膜厚仪：美国infocon，SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套；
- 膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头2套。
6、设备机架：1套
- 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；
- 3英寸万向轮4件，移动调整；
- M16地脚4件，锁紧定位。
7、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置）
- 烘烤照明电源：1台；
- 总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台；
9、其他技术参数：
- 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；
- 供电：～220V两相供电系统（峰值5KW）；
- 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；
- 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；
- 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。
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